массовый расходомер газа_Производитель расходомеров-Shanghai Cixi Instrument Co. Ltd.

Домашняя страница продукты Расходомер Расходомер газа

Products list

CX-F5 массовый расходомер газа

Регулятор массового расхода (MFC) Используется для точного измерения и контроля массовый расход газа.Они играют важную роль в научных исследованиях и производство в различных областях, таких как полупроводники и интегральные схемы. Промышленная промышленность, специальные материалы, химическая промышленность, а также промышленные, фармацевтические, экологические и вакуумные лампы. Типичные области применения включают в себя: электронное технологическое оборудование, такое как сварка, эпитаксия, CVD, оксидирование, плазменное травление, напыление и ионная имплантация. Нация и оборудование для нанесения покрытий, плавка оптического волокна, микрореакция устройства, системы распределения смешанных газов, капиллярное измерение, газ хроматографы и другие аналитические приборы

Функции

Широкие диапазоны измерения Микро Высокая точность

Низкое падение давления Малый размер Быстрый отклик

Технические данные

Номер модели: CX-F5

Точность: 0,5%

Рабочее давление: 3МПа

Материал основания: 316L.

Диапазон расхода: 10~1000см

Радостная рука: Φ3/Φ6/Φ10/1/8〞/1/4〞/3/8〞

Мощность: постоянный ток + 15 В/24 В

Цифровое значение: RS485 MODBUS

Used to accurately measure and control the mass flow of gas

The digital type is the left side style, with LCD display, instantaneous and total flow, pressure, temperature can be displayed at the same time and can be equipped with RS485/232, the MODBUS protocol analog type is the right side style, without digital display and no communication function

The range ratio of the flowmeter is 1:100, the valve control range of the controller is 1:50 the minimum can measure 2SCCM and the maximum can measure 3000SLM

The base material of the flow meter controller is S316L, and the material that contacts the gas is also SS316L. It can measure some weak corrosive gases. When measuring other strong corrosive gases and organic solvent gases, it should be declared when ordering.

The standard accuracy of gas mass flowmeters is 0.5%. 1.0% of reading, and the repeatability of 0.5% full scale accuracy is 0.2%. The accuracy of the controller is 1.0% (full scale accuracy)

The flow range of the miniature gas mass flow controller is the same as that of the flowmeter, the valve control range ratio is 50:1, and the proportional control valve accuracy is 1.0%.

Digital value RS485 MODBUS；Analog value DC 0~5V ，4~20mA

note: The mass flow meter and mass flow controller are usually calibrated with nitrogen (N2). The unit of mass flow is stipulated as: SCCM (Standard ml/min); SLM(Standard l/min) Standard state stipulates: temperature -----273.15K (0℃); Pressure -----101325 Pa(760mm Hg） F.S (Full Scale); Full-scale value